中玮科技半导体射频/微波功率测量客户主要服务四类：
一是晶圆制造产线（FAB），关注等离子射频链路在线监控、漂移预警与腔室维护后的功率基准复验；
二是半导体设备原厂（OEM），关注刻蚀、PECVD、ALD、等离子清洗等设备出厂验收与工艺调试标定；
三是射频电源与匹配器厂商，关注输出功率准确度、线性度、稳定度及逐台校准与型式试验；
四是先进封装、工艺研发实验室及第三方计量机构，关注可溯源至国家基准的功率标准与专项测试、计量仲裁。

一、行业现状与需求

刻蚀、薄膜沉积、等离子清洗等工艺中，射频功率微小漂移会改变等离子体密度与离子能量分布，直接影响刻蚀速率和膜层均匀性。当前高端功率测量与校准仍较多依赖进口设备，存在供货周期长、维保受限、境外溯源一致性偏差等隐患；产线在线功率监控、设备原厂验收标定和射频电源批量校准对自主可控、高精度、可溯源、自动化提出明确需求。

二、产品与系统解决方案

1. 高精度在线监测与功率测量

PM2180系列通过式功率计、PM7180+NT30A/T30A系列分体式通过式功率计、T30M嵌入式功率测量模块，覆盖400kHz、13.56MHz、2MHz、40.68MHz、60MHz等半导体主流频段，支持连续波功率与脉冲峰值功率测试；配套 RVM-10射频电压表，同步监测射频电压；

配套AutoMet自动测试软件，实时采集功率、驻波等参数，实现趋势分析与故障预警。

2. 动态匹配调试与阻抗分析

HP8000+H50系列高功率射频阻抗分析仪，用于匹配网络调谐与阻抗漂移分析；PM318B便携式宽频带功率计，用于现场巡检与快速排故，缩短工艺调试周期。

3. 功率保障与器件防护

AS120系列射频功率稳幅控制器确保功率输出稳定；大功率匹配器、滤波器、负载等用于设备老化与系统防护，支撑射频电源、匹配网络的出厂检定与可靠性评估，确保交付设备性能一致性。

4. 车间计量建标与自动化校准

PM117基准级功率计、PM317F/PM317H标准功率计、T10系列传递标准座，构建车间级计量标准；配套AutoMet自动化计量软件，实现数据自动采集、不确定度分析与校准报告一键生成。

技术优势：

1. 中玮科技是国内少数实现传感器芯片—模组—整机—系统全链路自主设计制造的企业，拥有完整制造链，而非简单集成替代；
2. 精度指标达到世界级水平，对标美国、德国等行业龙头品牌，在测量准确度、平均功率线性度、带宽等关键指标达到同一水准甚至部分维度更优；
3. 全频段、全功率、全场景覆盖，具备原理级创新，产品形态丰富，包括终端式/通过式功率传感器、传递标准功率座、功率分析仪、功放、稳幅器等

产品优势：

1. 具备完整产品矩阵：从微瓦级小信号到千瓦级以上大功率，从实验室计量到产线，从手持表到全自动校准系统，选型灵活
2. 搭建从上级计量到现场测量的连续溯源闭环：以功率传递标准为核心，配合功放、稳幅控制器及自动化校准软件，确保“测得准、传得稳、溯得清、可复现”
3. 商业化交付成熟：产品出厂全检校准，配套溯源证书与数据报告；标品交付快，支持定制，可快速嵌入客户现有测试系统与计量体系。

服务优势：

1. 同等精度下综合成本更优，供应链稳定可靠：中玮科技依托本土化研发、生产、计量与维保体系，可提供更优的总体拥有成本、交付周期和供应链确定性，不受海外供货周期与出口管制影响；库房现货充足，紧急采购相应迅速。
2. 构建全生命周期的服务体系：服务覆盖售前咨询、售后保障、技术培训与定制开发全流程，可提供标准化货架产品及一体化定制解决方案。产品具备完善的整机质保，配套设备维修、现场调试、技术培训等支撑服务，本土化团队，响应迅速。

产品已被多家半导体领域龙头企业认可使用，应用于晶圆等离子工艺产线与半导体设备研发调试环节、装备嵌入模块，保障刻蚀速率、膜层均匀性稳定等。